웨이퍼를 나르는 로봇을 국산화한다: 엠엑스로보틱스·다임리서치의 OHT 동맹

앞서 감속기에서 ‘로봇 속 일본’을 짚었다면, 이번엔 반도체 팹 천장이다. 팹 안에서 웨이퍼는 사람이 아니라 천장 레일을 달리는 이송장치 ‘OHT’가 나른다. 그런데 이 시장은 오래도록 외산, 사실상 일본계가 쥐고 있었다. 로보틱스 기업 엠엑스로보틱스와 AI 로봇 관제 기업 다임리서치가 손잡고, 진입장벽 높은 반도체 공정물류 자동화를 ‘피지컬 AI’로 국산화하겠다고 나섰다.

• 외산(일본계)이 주도해온 반도체 웨이퍼 이송(OHT) 물류를 한국 로봇·AI로 국산화관점
• 엠엑스로보틱스·다임리서치, OHT 기반 공정물류 자동화 사업협력 MOU 체결(6월 30일)딜
• 엠엑스로보틱스 OHT 시스템 설계 + 다임리서치 AI 관제 솔루션 ‘xMS’(수천 대 동시 제어)결합
• 신규 팹 라인당 수천억원 규모, HBM·첨단 패키징 확대로 실시간 물류 제어 중요성 급등시장