500도·240kg를 흔들림 없이: 티로보틱스 이중 평행링크 진공로봇암, 유리기판 양산 대기줄에 선다
티로보틱스가 자체 개발한 ‘이중 평행링크’ 진공 로봇암으로 AI 반도체·차세대 유리기판 공정을 겨냥한다고 27일 밝혔다. 같은 날 SKC 자회사 앱솔릭스는 임베딩 유리기판의 패키지 레벨 신뢰성 평가에 들어갔다고 공개해, 기판과 이송 로봇의 시계가 나란히 맞물리는 국면이 만들어졌다.
- 최대 500도 고온·고진공이송 환경
- 240kg최대 이송 하중
- 2021년기술 개발 착수
- K-디스플레이 2026 산업통상부 장관상수상
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